Laser Scanning Microscopy for Tomographic Imaging of Roughness and Point Absorbers in Optical Surfaces

19. Dezember 2024

Hochpräzise laserinterferometrische Instrumente erfordern optische Oberflächen mit einer nahezu perfekten Kontur sowie geringer Streuung und Absorption. Insbesondere Punktabsorber sind problematisch, da sie sich erwärmen und die ansonsten ebene Oberfläche lokal verformen, was zu Korrelationen zwischen Absorption und Kontur führt. Hier stellen wir einen spiralförmigen Laser-Scanning-Mikroskopie-Ansatz für die Rekonstruktion der beiden komplementären Bilder einer optischen Oberfläche vor. Das "Phasenbild" ist mit dem Oberflächenprofil einschließlich der Rauheit verknüpft. Unser Experiment erreicht eine Empfindlichkeit von bis zu (3,1±1,4) fm/√Hz mit einer transversalen Auflösung von (5,29±0,06)-μm. Das "Verlustbild" lokalisiert Punktabsorber. Die beiden Bilder zeigen Korrelationen für einige Merkmale, was die besondere Stärke unseres tomographischen Ansatzes beweist, der zur weiteren Verbesserung optischer Oberflächen oder zum Verständnis dynamischer Prozesse der Oberflächenphysik beitragen sollte.

Die Publikation finden Sie hier:

Advanced Devices & Instrumentation