Nanostrukturierung mittels Micellen
Zur Herstellung von nanostrukturierten Proben kombinieren wir in unserer Arbeitsgruppe Lithographie und die Selbstorganisation von Blockcopolymer-Micellen.
Auf ein isolierendes Substrat wird ein Ionenstrahlresist durch aufschleudern aufgetragen. Mittels fokussiertem Ionenstrahl wird der Resist belichtet und eine Hall-Kreuz-Struktur erzeugt. Auf die so strukturierte Probe wird ein Kobalt/Platin-Multilayer mittels ECR- und Magnetron-Sputtern gewachsen. Schematisch ist dies in Abb. 1 zu sehen.